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  線路重佈製程
整合式被動元件
客製化微機電元件
高頻被動元件
表面黏著元件端電極製程
鎳金無電極電鍍

 



   



 
 
客製化微機電(MEMS)元件

弗侖斯系統可提供客制化的MEMS製程,依據客戶製程需求代工。

範例:

1.客製化微型加熱噴孔




2.ICP Si 深蝕刻(through Si)





 



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●Advanced Furnace Systems Corp.
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