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微影製程技術
濕式製程技術
薄膜製程技術
乾蝕刻製程技術
製程分析設備


   

   


   
 
製程分析設備
橢圓測厚儀 

機台:Rudolph Research AutoEL IV
應用: 薄膜n,k值 及厚度量測
光學測厚儀
 
機台:Nanospec AFT Model 210
應用: 薄膜厚度量測
  段差厚度儀
     

機台:TENCOR A200
應用: 電子線路段差量測
◆ X光金屬厚度儀

機台:SII SFT7305
應用: 電鍍金屬線路非破壞性量測
應力量測儀 

機台:SMSI 3800
應用: 鍍膜應力量測

 

 

 

 

 

 

 



 

 



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●Advanced Furnace Systems Corp.
●SOUTHERN TAIWNA SCENCE PARK
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